在各類型激光掃描技術中,振鏡式激光掃描是目前廣泛采用的一種激光掃描方式。它具有高速、高精度、性能穩定等優勢,但存在光斑焦點不在加工面上的聚焦誤差問題。另外，振鏡式激光掃描存在掃描圖形的線性失真和非線性失真,特別是當掃描區域較大時,嚴重影響了激光掃描的圖形精度及加工質量。

那么這些問題如何解決呢？我們先來了解一下振鏡掃描的工作原理振：振鏡式掃描系統采用高速往復伺服電動機帶動X與Y兩片微小反射鏡片協調偏轉反射激光束來達到光斑在整個平面上掃描的目的。其不同于一般的機械式掃描系統：采用絲桿的傳動帶動掃描頭在二維平面上來回運動完成掃描，由于是機械式的，所以掃描系統的慣性大，掃描響應速度慢。

振鏡掃描時面臨的典型問題：

枕型失真

當掃描鏡在工作面上掃描一個矩形時，它得到的實際軌跡是并非一個標準矩形，而是如圖所示枕形

雙振鏡掃描會引起單軸的枕型誤差，誤差是由映射到平面時不是一一對應的線性關系，是一種原理性誤差。

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解決方案

由于產生的畸變在X和Y兩個方向上不是一致的，所以不能采用常規透鏡的辦法來矯正的，可以通過畸變公式軟件的方法來修正合理的描述理想圖和畸變圖之間的地址映射關系的平面坐標變換方法能很好地解決這個問題。

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聚焦誤差

在介紹解決方案前我們先給大家介紹一個重要的概念：焦平面。這是指在聚束過程中，激光會成一個漏斗狀的光路，這是的橫截面就是焦平面，也就是常說的光斑直徑。

高精度的掃描場合中，為了獲得較好的掃描效果，需要求工作臺面的光斑半徑控制在一定范圍內（范圍因掃描設備不同而參數不同）。在掃描范圍內的任意位置，激光束都要求能很好的聚焦。

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那么在振鏡掃描系統中這個更典型的誤差就是來自焦平面，在激光通過XY振晶后，焦平面是一個球平面，請見下圖：

解決方案

那么怎么才能在成型平臺上，獲得平整統一的光斑呢？應用較廣的解決辦法有兩種。

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1. ?用F-theta透鏡對聚焦畸變進行校正

這種方法只適合較小的工作臺面的激光掃描加工, 若在較大工作臺面上

掃描時, F-theta 透鏡尺寸大、成本高，且越靠近邊緣補償效果越差。

2. ?更優異的三維動態聚焦技術

動態聚焦振鏡激光掃描系統一般是采用上層應用軟件和下層驅動軟件控制。由于采用開環控制,所以在運動過程中要求實現三軸同步。

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驅動振鏡的伺服電機是由模擬電壓驅動的。依據光學杠桿原理設計動態聚焦掃描系統光學模型，激光束經動態聚焦系統再經兩次鏡面反射到達掃描場。在伺服電機的驅動下,動態聚焦鏡在光路方向上做往復直線運動,實時補償聚焦誤差,從而保證光斑焦點的掃描場與工作場誤差得到補償。

動態聚焦技術是近年來興起的激光掃描聚焦誤差補償技術，有更有效的和更精準的補償效果，并且支持的視場更大，價格上也相對來說更加昂貴。